真空泵的選型
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍，至今為止還沒(méi)有一種真空系統能覆蓋這個(gè)范圍。因此，為達到不同產(chǎn)品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。為達到******配置，選擇真空系統時(shí)，應考慮下述各點(diǎn)：
首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍，必須認真研究確定之。
在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度，因為系統的極限真空度決定了系統的******工作真空度。一般來(lái)講，系統的極限真空度比系統的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。
檢查確定工藝要求的抽氣種類(lèi)與抽氣量。因為如果被抽氣體種類(lèi)與泵內液體發(fā)生反應，泵系統將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過(guò)程中產(chǎn)生的氣體量。
檢查確定達到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏?？紤]達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
s=2.303v/tlog(p1/p2)
其中：
v為真空室容積(l)
t為達到要求真空度所需時(shí)間(s)
p1為初始真空度(torr)
p2為要求真空度(torr)
